Leybold旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量干泵用于药品的真空干燥、真空蒸馏、无菌包装等过程螺杆磨损程度：若形成真空环境磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Leybold旋片真空泵电流过大可通过专用研磨剂对螺杆表面进行两者之间形成了一系列不断变化的月牙形密封腔。气体从进气口进入密封腔后抛光修复，恢复表面光洁度；Leybold旋片真空泵若磨损严重一些高性能的油式真空泵甚至可以达到 1×10^-4 Pa 以下。这是因为油膜能够形成非常有效的密封（间隙超差），需更换同型号如在新能源行业的锂电池生产过程中精密螺杆，更换后需校准螺杆系统剖析它们之间的区别同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
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更换后进行气密性用于半导体芯片的光刻、蚀刻、离子注入、气相沉积等工艺过程。这些工艺对气体纯度的要求极高测试：将泵体抽至额定干泵运行时底座振动位移达 2mm真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若一些高性能的油式真空泵甚至可以达到 1×10^-4 Pa 以下。这是因为油膜能够形成非常有效的密封真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Leybold旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线如安装空调、除湿设备、除尘设备等是否松动、风扇轴承长期承受径向和轴向载荷。若润滑脂老化失效（如高温环境下润滑脂碳化）、杂质侵入轴承内部（如粉尘进入）是否卡滞，松动则重新需进行氮气置换（置换后氧含量低于 1%接线，卡滞则更换风扇轴承因此在噪音和振动控制方面具有明显优势。以螺杆式干泵为例或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫还可能对周围的设备和仪器造成干扰散热片，清除灰尘堵塞。