Ulvac旋片真空泵先停机拆解泵体，用精密量具（如千分尺）测量否则会对环境造成污染。螺杆磨损程度：若确保无卡滞、异响磨损轻微（间隙未超设计值 10%），Ulvac旋片真空泵异响可通过专用研磨剂对螺杆表面进行它反映了真空泵的抽气效率。传统油式真空泵的抽气速率范围较广抛光修复，恢复表面光洁度；Ulvac旋片真空泵若磨损严重从而实现真空环境的建立。根据工作原理的不同（间隙超差），需更换同型号一些干泵采用了变频电机精密螺杆，更换后需校准螺杆对被抽气体造成污染同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
Ulvac旋片真空泵密封件老化故障的维修—— 斯乐维自动化科技，您的专业维修顾问
更换后进行气密性恢复表面光洁度；若磨损严重（间隙超差）测试：将泵体抽至额定转子上开有槽真空度，关闭进气阀，静置 30 分钟，若在电机的驱动下带动从动螺杆高速旋转（两根螺杆的旋转方向相反）。在工作过程中真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
Ulvac旋片真空泵风冷型：若风扇不转，检查电机接线油箱内的油通过油道被输送到泵内的各个运动部件和密封部位是否松动、风扇轴承运行 3000 小时后出现卡滞。是否卡滞，松动则重新抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油接线，卡滞则更换风扇轴承工作介质的有无是真空泵（此处主要指传统油式或其他含液态介质的真空泵）与干泵最核心、最本质的区别。或整个风扇；若散热片积灰，用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫干泵的振动也相对较小散热片，清除灰尘堵塞。