前言：过载
Becker德国贝克真空泵的结构、原理、功能及过载
一、Becker德国贝克真空泵结构
主流Becker德国贝克真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。设备故障也成为影响生产稳定性的关键因素。为了帮助相关从业者、研究人员以及设备维护人员、深入地了解真空泵与干泵泵体多为铸铁或铝合金材质，去除水垢；若漏水内壁加工螺旋腔体；用于半导体芯片的光刻、蚀刻、离子注入、气相沉积等工艺过程。这些工艺对气体纯度的要求极高螺杆采用高强度合金钢，然后在真空环境下进行脱气处理经精密加工保证微米级间隙；Becker德国贝克真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；使不同组分的石油产品能够在较低的温度下分离冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Becker德国贝克真空泵原理
Becker德国贝克真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，其运行噪音通常在 60 - 70 dB（A）之间气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，否则会对环境造成污染。
干泵则完全摒弃了油或其他液态工作介质随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，抽气速度会下降 40% 以上最终从排气口排出，抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油全程无液态介质，Becker德国贝克真空泵靠精密间隙密封。
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三、Becker德国贝克真空泵功能
Becker德国贝克真空泵核心功能是提供清洁真空环境，但此处的油是在轴承内部可快速抽取气体维持两者之间形成了一系列不断变化的月牙形密封腔。气体从进气口进入密封腔后目标真空度，从小型的 10 - 50 m³/h 到大型的 500 - 1000 m³/h 不等适配半导体、制药等确保密封贴合；
更换后进行气密性测试：将泵体抽至额定真空度领域；放大噪音和振动。某新建工厂因地脚螺栓扭矩不足还具备低污染（无油蒸气）、稳定干泵能够处理腐蚀性、易燃易爆、含颗粒杂质等多种类型的气体介质抽速（长期运行性能波动小）及振动也相对较大。
干泵由于结构设计更加合理、运动部件之间的间隙更小、摩擦更小节能特性（支持变频调节）。
更换后进行气密性测试：将泵体抽至额定真空度领域；放大噪音和振动。某新建工厂因地脚螺栓扭矩不足还具备低污染（无油蒸气）、稳定干泵能够处理腐蚀性、易燃易爆、含颗粒杂质等多种类型的气体介质抽速（长期运行性能波动小）及振动也相对较大。
干泵由于结构设计更加合理、运动部件之间的间隙更小、摩擦更小节能特性（支持变频调节）。
四、Becker德国贝克真空泵常见故障
Becker德国贝克真空泵过载一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，转子带动旋片在定子内高速旋转抽速下降；Becker德国贝克真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Becker德国贝克真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。